低温等离子空气净化器利用光束照射恶臭气体，裂解恶臭气体如：氨、胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC类，苯、甲苯、二甲苯的分子链结构，使或无机高分子恶臭化合物分子链，在紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。
低温等离子空气净化器利用高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。
当废气进入等离子废气处理设备内时，先经过等离子体化学反应过程，即电子先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。(在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子物质，或使物质转变成或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。)
然后部分废气再通过破坏、分解、催化氧化把污染气体分解为无味气体。采用C波段光线强裂污染气体分子链，改变物质分子结构，将高分子污染物质裂解、氧化成为低分子物质，如水和二氧化碳等。O3强催化氧化剂进行废气催化氧化,可地杀灭，将物质破坏且改变成为低分子物质。在C波段激光刺激催化剂涂层产生活性，催化氧化作用。在分解过程中产生高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧),众所周知臭氧对物具有的氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有的效果。O3也为强催化氧化剂进行废气催化氧化,裂解恶臭气体中的分子键，破坏的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，达到脱臭及杀的目的。
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